微纳光刻加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。接触式光刻机的掩模版包括了要到衬底上的所有芯片阵列图形。光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成
