平移台压电马达驱动； 无回程间隙，内具刹车功能； 纳米级高分辨率及精度； 毫秒至亚毫秒级快响应速度，速度可达300毫米／秒； 长行程，重载型移动台公司，理论上无行程限制； 超薄设计，结构紧凑； 无磁，无油，无电磁干扰，真空兼容； 广泛应用于半导体设备、微纳加工、光电试验、生物疗治等领域。压电马达驱动；无回程间隙，内具刹车
