设备用途： 扩散炉是半导体加工中的典型热处理设备，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。 产品描述： ◆软着陆载片装置 软着陆送料装置，避免了SiC桨的遮挡影响，提高了扩散均匀性。同时桨的清洗周期大幅度延长。 ◆温度控制 新型炉体设计，提高了温度稳定性；配合温控仪的使用，保证工艺过程中温度的稳
