真空仪器传统的实现真空切换的方式如下：靶台移动至进样孔的内侧开口处以封闭进样孔的内侧开口，对过渡腔进气使过渡腔室的气压与外界平衡，打开真空箱上的密封盖，进行样品的更换。样品更换完成后，盖上密封盖，样品靶触碰到微动开关，表明盖已盖好，无磁升降台公司，但无法判断密封圈是否正常；对过渡腔进行抽吸，预抽一段时间后，通过低真空规判
