UV曝光过程曝光的目的是通过ji活光刻胶某些部分中的 PAC(PhotoActiv 组件)来引发交联。这种活化将改变树脂的局部特性,树脂在烘烤后将溶于或不溶于溶剂。由于SU-8是负性光刻胶,SU8模具,这意味着暴露在紫外线下的部分会变硬,而另一部分会在显影过程中溶解。必须仔细选择一些参数:SU-8的曝光波长为365nm。时间取决于层厚和灯的功率。接触模式很重要,如果