UV曝光过程曝光的目的是通过ji活光刻胶某些部分中的 PAC（PhotoActiv 组件）来引发交联。这种活化将改变树脂的局部特性，树脂在烘烤后将溶于或不溶于溶剂。由于SU-8是负性光刻胶，SU8模具，这意味着暴露在紫外线下的部分会变硬，而另一部分会在显影过程中溶解。必须仔细选择一些参数：SU-8的曝光波长为365nm。时间取决于层厚和灯的功率。接触模式很重要，如果没有硬接触，您可能会失去一些分辨率，而使用真空接触，您可能会将晶圆粘在掩模上。 SU8加工平台SU8模具制备方法1）基底准备SU8模具，通常采用硅衬底，即使晶片是新的，也必须在接收 SU-8 光刻胶之前准备好。如果在无尘室，可以使用溶液（H2SO4+H2O2）清洗，在无尘室外可以用bing酮。在任何情况下，您都必须加热衬底以去除表面上的所有水分。我们建议在 120°C 的烤箱中加热 15 分钟。这个加热步骤非常重要，因为它可以让 SU-8 更好地粘附在基材上。SU-8制备的模具具备以下优势：1、高分辨率和精度：SU-8是高分辨率的光刻胶，使用光刻工艺，可以制备复杂且精细的微通道几何形状，从而形成清晰的微流体结构。2、强韧：SU-8模具具备强韧性和耐久性，能够经受住反复使用、清洗和处理，不会明显退化，适合多次浇筑PDMS芯片。SU-8模具，使用光刻工艺，可以在SU-8模板上制造线条宽度大于2微米，并且实现深宽比在1:1至2:1的结构。此外，借助多层光刻技术，还可以在SU-8模具上创建不同高度的微流道结构。 浙江SU8模具-顶旭微控技术有限公司由顶旭（苏州）微控技术有限公司提供。浙江SU8模具-顶旭微控技术有限公司是顶旭（苏州）微控技术有限公司今年新升级推出的，以上图片仅供参考，请您拨打本页面或图片上的联系电话，索取联系人：周经理。 产品：顶旭供货总量：不限产品价格：议定包装规格：不限物流说明：货运及物流交货说明：按订单
