2、平台组成2.1 电子秤量程：0.01~1000g精度0.01g方形托盘大小：16x18cm2.2 脱泡器材质：PC材料隔板直径：230mmyouzhi硅胶O型密封圈可维持高真空2.3 PDMS浇筑器材质：铝合金真空吸附硅片规格：适合4寸及4寸以下SU8模具或纯硅模具浇筑2.4 烘箱温度范围：10℃~300℃温度分辨率：0.1℃温度波动：±0.2℃内胆材料：不锈钢
