SU8加工平台SU8模具制备方法1）基底准备SU8模具，通常采用硅衬底，PDMS芯片模具，即使晶片是新的，也必须在接收 SU-8 光刻胶之前准备好。如果在无尘室，可以使用溶液（H2SO4+H2O2）清洗，在无尘室外可以用bing酮。在任何情况下，您都必须加热衬底以去除表面上的所有水分。我们建议在 120°C 的烤箱中加热 15 分钟。这个加热步骤非常重要，因为它可以
