真空镀膜系统
机械传动部分
涂层要求周边必须厚度均匀一致，因此，在涂层过程中须有三个转动量才能满足要求。即在要求大工件台转动(I)的同时，小的工件承载台也转动( II)，并且工件本身还能同时自转(III)。在机械设计上，一般是在大工件转盘底部为一大的主动齿轮，周围是一些小的星行轮与之啮合，如果要实现产品自转的话，一般用拨叉拨动工件自转。
真空镀膜系统
真空镀膜在日常生活中非常常见，就是一个真空系统也比较复杂，真空镀膜系统，现在，我们一起去探索一下真空镀膜的设备秘密吧。
真空镀膜设备不是单一的设备，而是设备组，它是由真空系统、蒸发系统，蒸发辅助系统，加热系统，整机的电气与自动化控制系统共同构成，今天，我们主要讨论的是真空镀膜设备中的真空系统。真空泵油雾过滤器也被运用在真空系统当中，使得真空镀膜工艺排放无污染，节能环保。
真空镀膜机镀制薄膜不均匀的解决方法
制的薄膜的均匀性都会受到某种因素影响。真空状态需要抽气系统来控制的，每个抽气口都要同时开动并力度一致，这样就可以控制好抽气的均匀性，如果抽气不均匀，在真空室内的压强就不能均匀了，压强对离子的运动是存在一定的影响的。另外抽气的时间也要控制，太短会造成真空度不够，但太长又浪费资源，不过有真空计的存在，要控制好还是不成问题的。
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