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晶棒成长 -- 晶棒裁切与检测 -- 外径研磨 -- 切片 -- 圆边 -- 表层研磨 -- 蚀刻 -- 去疵 -- 抛光 -- 清洗 -- 检验 -- 包装1、晶棒成长工序:它又可细分为:
1)、融化(Melt Down):将块状的高纯度复晶硅置于石英坩锅内,加热到其熔点1420°C以上,蓝膜片,使其完全融化。
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并将不合格的晶粒标上记号后,将晶圆切开,分割成一颗颗单独的晶粒,再按其电气特性分类,装入不同的托盘中,不合格的晶粒则舍弃。构装工序:就是将单个的晶粒固定在塑胶或陶瓷制的芯片基座上
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去疵(Gettering):用喷砂法将晶片上的瑕疵与缺陷感到下半层,蓝膜片镁光晶圆,以利于后序加工。 9、抛光(Polishing):对晶片的边缘和表面进行抛光处理,蓝膜片现代晶圆,一来进一步去掉附着在晶片上的微粒,二来获得表面平整度,以利于后面所要讲到的晶圆处理工序加工。
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