例如在集成电路生产制造的光刻工序中,硅片暴露在生产环境中,污染机率很高时器件的不合格率也会很高,所以为避免出现这类不良影响,现阶段在超大规模集成电路的洁净厂房中通常选用微环境,把工艺区隔离,食品净化,在微环境的隔离区内达到所需要的空气洁净度等级和环境控制需要(温度、相对湿度、压力)。在ISO14644-4中附录B(参考资料)表B-2介绍“微电子用洁净室实例”的,常德净化,见表1。表格中的工作区(加工区)是由人和/或白动处理设备对晶片进行加工的区域。为保护工作区内产品免被污染,厂房净化,通常选用单向流或微环境把人与暴露的产品隔离。
3.其它净化方式①负离子法:羟基负离子与空气中漂浮的有害气体接触后,能还原来自大气的污染物质、氮氧化物等产生的活性氧(氧自由基)、减少过多活性氧对人体的危害;中和带正电的空气飘尘无电荷后沉降,使空气得到净化。②水洗法:利用虹吸以及离心原理,将混合于水的净化剂通过虹吸原理吸入其电机底座的同轴离心涡轮下部的吸管中,通过交流罩极电机高速旋转,再利用离心原理,将混合于水的净化剂喷在瓶胆内形成一层水膜,将空气中的灰尘以及细菌吸入水中,食品厂净化,同时将经过净化的空气吹入室内,有效地去除室内的生物、灰尘、烟味、臭味、病毒等,并产生大量的新鲜氧气。
净化车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。不同行业的净化车间有着不同的区别,例如工业净化车间与生物净化车间:1.工业净化车间无生命的粒子控制的对象。洁净棚主要控制空气尘粒污染的工作对象,通常内保持正压。适用于精密机械工业、电子工业、半导体、集成电路、等)航空航天工业、高纯度磁产品,原子能工业、化工、轻工业(CD、磁带、电影制作),LCD(液晶玻璃),计算机硬盘磁头生产等行业。2.生物净化车间主要控制生活粒子(细菌)和非生物粒子的污染(尘埃)工作对象。 次数用完API KEY 超过次数限制
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