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内容摘要：
UPNM/SPS-LJ-1601型蓝宝石基片CMP浆料采用我公司自主合成生产的高纯纳米SiO2水溶胶作为磨料，具有生产自动化高，稳定性好的特点。CMP浆料生产过程中采用自动化配制，辅料的添加采用流量计控制，全方位立体搅拌，两层折叠滤芯过滤，自动灌装包装的生产配制方法，因此产品金属杂质极少、易清洗、无毒无污染，使用中产品移除率高、损伤层小、平整度高，避免晶片出现划伤。UPNM/SPS-LJ-......
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