UPNM/SPS-LJ-1601型蓝宝石基片CMP浆料采用我公司自主合成生产的高纯纳米SiO2水溶胶作为磨料，具有生产自动化高，稳定性好的特点。CMP浆料生产过程中采用自动化配制，辅料的添加采用流量计控制，全方位立体搅拌，两层折叠滤芯过滤，自动灌装包装的生产配制方法，因此产品金属杂质极少、易清洗、无毒无污染，使用中产品移除率高、损伤层小、平整度高，避免晶片出现划伤。UPNM/SPS-LJ-1601型CMP浆料中加入了特有的抛光促进剂以及活性物质，能够在CMP过程中保证质量传输的一致性，提高抛光效率。CMP过程中根据需要可以优化不同配比，均能达到使用效果，与国内外同类产品相比，该产品在抛光过程中具有无结晶，划伤少，可以循环使用等特点。
