磁控溅射镀膜机的注意事项1、保持机器内舱各部位的清洁;2、关注真空度指标;3、检查并记录抽真空的时间,如有延长,立刻检查造成的原因;4、记录溅射功率和时间(一般溅射机的银靶设定功率为0.6千瓦,金靶的设定功率为0.75千瓦,铬的行走速率为9000pps),如有异常,立刻检查造成的原因;5、根据镀出石英振子的散差,调整遮挡板的各部尺寸;6、溅镀后的石英振子要用3M胶带检查其牢固度;7、测试