基本参数 X向量程：100mm X轴检测方法：光栅传感器/分辨率：0.2μm X轴测量速度：0.1,0.2,0.5,1mm/s，自定义 X轴直线度：1.2μm/100mm Z向量程：320mm 轮廓部分精度： Z1向量程：±2mm，±5mm X轴精度：±（3+0.02L）μm Z1轴精度：±0.3%f.s. Z1轴量程与分辨率比例： 65536:1（16位） Z1轴传感器
