ENGIS上蜡压片机、贴蜡系统、贴片机、粘片机用于GaAs, InP高清图片高清大图

上海瞻驰光电科技有限公司

：Engis 



化合物半导体（GaAs/InP）背面减薄工艺设备 



应用领域：GaAs，InP 



设备特点： 



上蜡后将陶瓷盘放入压片机真空腔内进行压片，并将Wafer不陶瓷盘间隙内空气排空

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